13862539871
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|
ISO等级序数（N） |
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值 | ||||||||||||
|
pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算 |
pc/(28.3L)1ft3空气浓度限值 |
pc/（2.83L）0.1ft3空气浓度限值 | |||||||||||
|
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm | ||
|
ISO Class 5 |
Class 100 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
289 |
100 |
23 |
0 |
29 |
10 |
2 |
0 |
|
ISO Class 6 |
Class 1000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
2887 |
1000 |
235 |
8 |
289 |
100 |
24 |
1 |
|
ISO Class 7 |
Class 10000 |
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
10000 |
2354 |
83 |
|
996 |
236 |
8 |
|
ISO Class 8 |
Class 100000 |
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
100000 |
23545 |
829 |
|
9962 |
2355 |
83 |
|
30万级（GMP） |
|
10560000 |
2496000 |
87900 |
|
300000 |
70635 |
2487 |
|
29885 |
7064 |
249 | |
|
ISOClass 9 |
Class 1000000 |
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
|
1000000 |
235456 |
8291 |
|
99616 |
23545 |
829 |
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。 | |||||||||||||
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